江西化工
江西化工
강서화공
JIANGXI CHEMICAL INDUSTRY
2006年
1期
80-82
,共3页
超导薄膜%电子束蒸发%原位热处理
超導薄膜%電子束蒸髮%原位熱處理
초도박막%전자속증발%원위열처리
利用电子束蒸发法在Al2O3(0001)衬底上制备MgB2超导薄膜.首先在衬底上按照1:2的原子比交替蒸发Mg和B,所形成的夹层先驱膜在150Pa纯度为99.99%的Ar气氛中,在630℃的温度下原位热处理30分钟.超导薄膜的起始转变温度为30.6K,零电阻温度为30.5K.
利用電子束蒸髮法在Al2O3(0001)襯底上製備MgB2超導薄膜.首先在襯底上按照1:2的原子比交替蒸髮Mg和B,所形成的夾層先驅膜在150Pa純度為99.99%的Ar氣氛中,在630℃的溫度下原位熱處理30分鐘.超導薄膜的起始轉變溫度為30.6K,零電阻溫度為30.5K.
이용전자속증발법재Al2O3(0001)츤저상제비MgB2초도박막.수선재츤저상안조1:2적원자비교체증발Mg화B,소형성적협층선구막재150Pa순도위99.99%적Ar기분중,재630℃적온도하원위열처리30분종.초도박막적기시전변온도위30.6K,령전조온도위30.5K.
