浙江大学学报（理学版）
浙江大學學報（理學版）
절강대학학보（이학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY
2007年
3期
290-293,298
,共5页
王锐%李道火%高峰%何晓雄
王銳%李道火%高峰%何曉雄
왕예%리도화%고봉%하효웅
激光诱导化学气相沉积%双光束激励%氮化硅%红外吸收光谱
激光誘導化學氣相沉積%雙光束激勵%氮化硅%紅外吸收光譜
격광유도화학기상침적%쌍광속격려%담화규%홍외흡수광보
采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7～15 nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光诱导化学气相沉积装置中加一束正交的紫外光束,以促进NH3分子光解,从而减少游离硅的存在,提高N/Si原子数比.观察到了红外吸收光谱中的"蓝移"和"宽化"现象,并认为这些现象是由表面效应和量子尺寸效应造成的.同时,红外吸收光谱的反常现象也验证了粉体的纳米特性.
採用激光誘導化學氣相沉積法製備齣超細(7～15 nm)、理想化學劑量(N/Si=1.314)、無糰聚的非晶納米氮化硅粉體.為瞭提高粉體的純度,在傳統激光誘導化學氣相沉積裝置中加一束正交的紫外光束,以促進NH3分子光解,從而減少遊離硅的存在,提高N/Si原子數比.觀察到瞭紅外吸收光譜中的"藍移"和"寬化"現象,併認為這些現象是由錶麵效應和量子呎吋效應造成的.同時,紅外吸收光譜的反常現象也驗證瞭粉體的納米特性.
채용격광유도화학기상침적법제비출초세(7～15 nm)、이상화학제량(N/Si=1.314)、무단취적비정납미담화규분체.위료제고분체적순도,재전통격광유도화학기상침적장치중가일속정교적자외광속,이촉진NH3분자광해,종이감소유리규적존재,제고N/Si원자수비.관찰도료홍외흡수광보중적"람이"화"관화"현상,병인위저사현상시유표면효응화양자척촌효응조성적.동시,홍외흡수광보적반상현상야험증료분체적납미특성.
