真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
z1期
55-58
,共4页
陈焘%罗崇泰%王多书%刘宏开%王济洲%马锋
陳燾%囉崇泰%王多書%劉宏開%王濟洲%馬鋒
진도%라숭태%왕다서%류굉개%왕제주%마봉
硫化锌薄膜%离子束辅助沉积%真空退火%应力
硫化鋅薄膜%離子束輔助沉積%真空退火%應力
류화자박막%리자속보조침적%진공퇴화%응력
在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜.通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律.结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜的压应力增加了62.3MPa.真空退火使硫化锌薄膜的平均应力大约降低了二分之一.硫化锌薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素.
在硅基底上用電子束蒸髮方法製備瞭硫化鋅薄膜.通過XRD和薄膜應力測試儀研究瞭離子束輔助沉積和真空退火對硫化鋅薄膜應力的影響規律.結果錶明,未採用離子輔助技術製備的硫化鋅薄膜為壓應力,平均應力值為110.6 MPa,噹採用離子束輔助工藝時硫化鋅薄膜的壓應力增加瞭62.3MPa.真空退火使硫化鋅薄膜的平均應力大約降低瞭二分之一.硫化鋅薄膜的微觀結構變化是影響薄膜應力的主要因素.
재규기저상용전자속증발방법제비료류화자박막.통과XRD화박막응력측시의연구료리자속보조침적화진공퇴화대류화자박막응력적영향규률.결과표명,미채용리자보조기술제비적류화자박막위압응력,평균응력치위110.6 MPa,당채용리자속보조공예시류화자박막적압응력증가료62.3MPa.진공퇴화사류화자박막적평균응력대약강저료이분지일.류화자박막적미관결구변화시영향박막응력적주요인소.
