光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
3期
7-9
,共3页
相干光学%干涉波面数字化%Zernike多项式%光学玻璃表面检测
相榦光學%榦涉波麵數字化%Zernike多項式%光學玻璃錶麵檢測
상간광학%간섭파면수자화%Zernike다항식%광학파리표면검측
干涉波面数字化和测量分析处理方法是激光数字平面检测系统中的核心技术,只有掌握了此核心技术的关键内容,才能够真正实现对光学平面的快速高精度检测.对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法、系统像差以及被测表面平面误差类型进行了理论分析和算法优化,并进行了实验测试,完成了系统的构建.发现了Zernike多项式阶选择法则,提出被测光学表面误差类型的判别标准以及一种全新的在"Zernike像差空间"确定激光数字光学平面检测系统精度的理论和方法,为实现检测自动化奠定了理论基础.
榦涉波麵數字化和測量分析處理方法是激光數字平麵檢測繫統中的覈心技術,隻有掌握瞭此覈心技術的關鍵內容,纔能夠真正實現對光學平麵的快速高精度檢測.對光學榦涉波麵的擬閤函數繫的選擇、擬閤算法、繫統像差以及被測錶麵平麵誤差類型進行瞭理論分析和算法優化,併進行瞭實驗測試,完成瞭繫統的構建.髮現瞭Zernike多項式階選擇法則,提齣被測光學錶麵誤差類型的判彆標準以及一種全新的在"Zernike像差空間"確定激光數字光學平麵檢測繫統精度的理論和方法,為實現檢測自動化奠定瞭理論基礎.
간섭파면수자화화측량분석처리방법시격광수자평면검측계통중적핵심기술,지유장악료차핵심기술적관건내용,재능구진정실현대광학평면적쾌속고정도검측.대광학간섭파면적의합함수계적선택、의합산법、계통상차이급피측표면평면오차류형진행료이론분석화산법우화,병진행료실험측시,완성료계통적구건.발현료Zernike다항식계선택법칙,제출피측광학표면오차류형적판별표준이급일충전신적재"Zernike상차공간"학정격광수자광학평면검측계통정도적이론화방법,위실현검측자동화전정료이론기출.
