传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
10期
109-112
,共4页
王海%童云华%夏小品%周荣荻
王海%童雲華%夏小品%週榮荻
왕해%동운화%하소품%주영적
多层悬臂梁%残余应力%有限元法%优化设计
多層懸臂樑%殘餘應力%有限元法%優化設計
다층현비량%잔여응력%유한원법%우화설계
扫描刻蚀加工是一种基于并行探针驱动、集成微小等离子体刻蚀原理的新型微纳米加工手段.特种悬臂梁是扫描刻蚀加工系统中的核心器件,其性能直接影响到系统的可靠性.该特种悬臂梁为集成压电陶瓷驱动薄膜的多层复合梁,在加工工艺过程中所引起的材料内部的残余应力,将导致复合梁加工释放后的弯曲变形,影响扫描刻蚀加工系统的性能.基于弹性薄板理论建立含残余应力项的多层复合梁的理论模型.利用有限元法对多层复合梁进行数值仿真,结合田口优化方法,对多层薄膜的厚度进行优化设计.
掃描刻蝕加工是一種基于併行探針驅動、集成微小等離子體刻蝕原理的新型微納米加工手段.特種懸臂樑是掃描刻蝕加工繫統中的覈心器件,其性能直接影響到繫統的可靠性.該特種懸臂樑為集成壓電陶瓷驅動薄膜的多層複閤樑,在加工工藝過程中所引起的材料內部的殘餘應力,將導緻複閤樑加工釋放後的彎麯變形,影響掃描刻蝕加工繫統的性能.基于彈性薄闆理論建立含殘餘應力項的多層複閤樑的理論模型.利用有限元法對多層複閤樑進行數值倣真,結閤田口優化方法,對多層薄膜的厚度進行優化設計.
소묘각식가공시일충기우병행탐침구동、집성미소등리자체각식원리적신형미납미가공수단.특충현비량시소묘각식가공계통중적핵심기건,기성능직접영향도계통적가고성.해특충현비량위집성압전도자구동박막적다층복합량,재가공공예과정중소인기적재료내부적잔여응력,장도치복합량가공석방후적만곡변형,영향소묘각식가공계통적성능.기우탄성박판이론건립함잔여응력항적다층복합량적이론모형.이용유한원법대다층복합량진행수치방진,결합전구우화방법,대다층박막적후도진행우화설계.
