电源技术
電源技術
전원기술
CHINESE JOURNAL OF POWER SOURCES
2012年
9期
1301-1302
,共2页
储清梅%刘翔%张鹏翔%戴永年
儲清梅%劉翔%張鵬翔%戴永年
저청매%류상%장붕상%대영년
单晶硅%腐蚀%表面织构%NaOH/NH4F/Na2CO3溶液
單晶硅%腐蝕%錶麵織構%NaOH/NH4F/Na2CO3溶液
단정규%부식%표면직구%NaOH/NH4F/Na2CO3용액
用NaOH/NH4F/Na2CO3溶液体系对单晶硅(100)进行了表面织构.结果发现腐蚀所得表面沟壑纵横,沟壑间是类似金字塔的小凸起.在优化条件下,平均反射率低且不随腐蚀时间的延长而增大,可重复性好,是比较理想的碱腐蚀液.
用NaOH/NH4F/Na2CO3溶液體繫對單晶硅(100)進行瞭錶麵織構.結果髮現腐蝕所得錶麵溝壑縱橫,溝壑間是類似金字塔的小凸起.在優化條件下,平均反射率低且不隨腐蝕時間的延長而增大,可重複性好,是比較理想的堿腐蝕液.
용NaOH/NH4F/Na2CO3용액체계대단정규(100)진행료표면직구.결과발현부식소득표면구학종횡,구학간시유사금자탑적소철기.재우화조건하,평균반사솔저차불수부식시간적연장이증대,가중복성호,시비교이상적감부식액.
