压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2003年
5期
403-406
,共4页
PLZT薄膜%取向生长%电性能%光学特性,溶胶-凝胶
PLZT薄膜%取嚮生長%電性能%光學特性,溶膠-凝膠
PLZT박막%취향생장%전성능%광학특성,용효-응효
以硝酸镧、醋酸铅、钛酸丁酯和异丙醇锆为原料,乙二醇甲醚作溶剂.用简单的溶胶-凝胶法和快速退火工艺在Si(111)、石英和Pt/Ti/siO2/si(100)基片成功地制备出了高度多晶和(111)取向生长的(Pb,La)(Ti,Zr)O3(PLZT)薄膜.用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性.PLZT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为10.3 μC/cm2和36 kV/cm;在100 kHz,薄膜的介电常数和损耗因子分别为682和0.021.生长在石英基片上的薄膜具有好的透光性,当波长高于360 nm,其透过率高达72%.
以硝痠鑭、醋痠鉛、鈦痠丁酯和異丙醇鋯為原料,乙二醇甲醚作溶劑.用簡單的溶膠-凝膠法和快速退火工藝在Si(111)、石英和Pt/Ti/siO2/si(100)基片成功地製備齣瞭高度多晶和(111)取嚮生長的(Pb,La)(Ti,Zr)O3(PLZT)薄膜.用原子力顯微鏡分析瞭薄膜的錶麵形貌;測試瞭薄膜的鐵電和介電特性.PLZT薄膜的剩餘極化彊度和矯頑場分彆為10.3 μC/cm2和36 kV/cm;在100 kHz,薄膜的介電常數和損耗因子分彆為682和0.021.生長在石英基片上的薄膜具有好的透光性,噹波長高于360 nm,其透過率高達72%.
이초산란、작산연、태산정지화이병순고위원료,을이순갑미작용제.용간단적용효-응효법화쾌속퇴화공예재Si(111)、석영화Pt/Ti/siO2/si(100)기편성공지제비출료고도다정화(111)취향생장적(Pb,La)(Ti,Zr)O3(PLZT)박막.용원자력현미경분석료박막적표면형모;측시료박막적철전화개전특성.PLZT박막적잉여겁화강도화교완장분별위10.3 μC/cm2화36 kV/cm;재100 kHz,박막적개전상수화손모인자분별위682화0.021.생장재석영기편상적박막구유호적투광성,당파장고우360 nm,기투과솔고체72%.
