功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2005年
3期
373-376
,共4页
赵林林%徐晨%霍文晓%赵慧%杨道虹%沈光地
趙林林%徐晨%霍文曉%趙慧%楊道虹%瀋光地
조림림%서신%곽문효%조혜%양도홍%침광지
微电子机械系统%振动薄膜%杨氏模量%纳米硬度计
微電子機械繫統%振動薄膜%楊氏模量%納米硬度計
미전자궤계계통%진동박막%양씨모량%납미경도계
利用纳米硬度计通过对超薄悬空薄膜的弯曲试验来测定硅可动悬空薄膜的弹性模量.硅悬空薄膜采用各向异性湿法腐蚀自停止技术制备.纳米硬度计测试方法精确测量了硅悬空薄膜的弯曲形变.试验研究表明,尺寸为2mm×1μm的硅悬空薄膜的弹性模量平均值为152GPa,差异为3.9%-6.8%.
利用納米硬度計通過對超薄懸空薄膜的彎麯試驗來測定硅可動懸空薄膜的彈性模量.硅懸空薄膜採用各嚮異性濕法腐蝕自停止技術製備.納米硬度計測試方法精確測量瞭硅懸空薄膜的彎麯形變.試驗研究錶明,呎吋為2mm×1μm的硅懸空薄膜的彈性模量平均值為152GPa,差異為3.9%-6.8%.
이용납미경도계통과대초박현공박막적만곡시험래측정규가동현공박막적탄성모량.규현공박막채용각향이성습법부식자정지기술제비.납미경도계측시방법정학측량료규현공박막적만곡형변.시험연구표명,척촌위2mm×1μm적규현공박막적탄성모량평균치위152GPa,차이위3.9%-6.8%.
