KBA显微镜成像系统的成像模拟及X光成像实验的研究
KBA현미경성상계통적성상모의급X광성상실험적연구
Imaging Simulation of KBA Microscope System and X-Ray Imaging Experiment
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2006年 8期 1231-1235 ,共5页

    董建军%刘忠礼%缪文勇%于燕宁%曹磊峰%郑志坚%胡家升%高清峰%刘伯祥

    동건군%류충례%무문용%우연저%조뢰봉%정지견%호가승%고청봉%류백상

    仪器%KBA显微镜%掠入射%光学设计%ZEMAX 儀器%KBA顯微鏡%掠入射%光學設計%ZEMAX
    의기%KBA현미경%략입사%광학설계%ZEMAX
    KBA显微镜是一种非轴对称、非共轴的掠入射成像系统.其结构复杂,调节精度要求很高,在实际成像实验操作中难以掌握其成像特性.利用光学设计软件模拟其成像,对系统的调节和成像分析提供有益的参考.利用光学设计软件ZEMAX模拟了KBA显微镜对点源的成像过程,给出了KBA显微镜成像系统的焦深约为1 mm,景深为50 mm左右.并且由模拟可知,掠入射角对成像的影响很大.对像素尺寸约10μm的探测设备,模拟得出KBA成像系统的空间分辨力上限为3 μm左右.基于星光Ⅱ装置对周期为20 μm的网格靶成像,获得了KBA显微镜较为清晰的X光图像.该项工作为进一步开展掠入射成像系统的研究奠定了基础.
    KBA현미경시일충비축대칭、비공축적략입사성상계통.기결구복잡,조절정도요구흔고,재실제성상실험조작중난이장악기성상특성.이용광학설계연건모의기성상,대계통적조절화성상분석제공유익적삼고.이용광학설계연건ZEMAX모의료KBA현미경대점원적성상과정,급출료KBA현미경성상계통적초심약위1 mm,경심위50 mm좌우.병차유모의가지,략입사각대성상적영향흔대.대상소척촌약10μm적탐측설비,모의득출KBA성상계통적공간분변력상한위3 μm좌우.기우성광Ⅱ장치대주기위20 μm적망격파성상,획득료KBA현미경교위청석적X광도상.해항공작위진일보개전략입사성상계통적연구전정료기출.
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