现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2010年
17期
111-112
,共2页
RF MEMS开关%ANSYS%优化设计%驱动电压
RF MEMS開關%ANSYS%優化設計%驅動電壓
RF MEMS개관%ANSYS%우화설계%구동전압
RF MEMS开关存在驱动电压高、开关时间长等问题,利用ANSYS对电容式开关加以改进,设计扭转臂杠杆与打孔电容膜相结合的新型开关.通过静电耦合与模态分析的仿真,可以在理论上改善RF MEMS开关的射频性能,并有工艺的可行性.
RF MEMS開關存在驅動電壓高、開關時間長等問題,利用ANSYS對電容式開關加以改進,設計扭轉臂槓桿與打孔電容膜相結閤的新型開關.通過靜電耦閤與模態分析的倣真,可以在理論上改善RF MEMS開關的射頻性能,併有工藝的可行性.
RF MEMS개관존재구동전압고、개관시간장등문제,이용ANSYS대전용식개관가이개진,설계뉴전비강간여타공전용막상결합적신형개관.통과정전우합여모태분석적방진,가이재이론상개선RF MEMS개관적사빈성능,병유공예적가행성.
