含能材料
含能材料
함능재료
ENERGETIC MATERIALS
2012年
2期
234-239
,共6页
王述剑%彭泓铮%张文超%马立远
王述劍%彭泓錚%張文超%馬立遠
왕술검%팽홍쟁%장문초%마립원
材料科学%含能材料%微机电系统( micro-electro-mechanical systems,MEMS)%火工品
材料科學%含能材料%微機電繫統( micro-electro-mechanical systems,MEMS)%火工品
재료과학%함능재료%미궤전계통( micro-electro-mechanical systems,MEMS)%화공품
在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上,认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电系统( micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件制备技术具有良好的兼容性,在此基础上阐述了上述三种薄膜材料的制备方法及输出特性,认为MEMS火工装置为火工技术的发展提供了一个重要的研究方向.
在綜閤分析國內外含能薄膜相關文獻的基礎上,認為金屬複閤含能薄膜橋、含能半導體橋及納米多孔硅/氧化劑複閤薄膜製作工藝與微機電繫統( micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件製備技術具有良好的兼容性,在此基礎上闡述瞭上述三種薄膜材料的製備方法及輸齣特性,認為MEMS火工裝置為火工技術的髮展提供瞭一箇重要的研究方嚮.
재종합분석국내외함능박막상관문헌적기출상,인위금속복합함능박막교、함능반도체교급납미다공규/양화제복합박막제작공예여미궤전계통( micro-electro-mechanical systems,MEMS)기건제비기술구유량호적겸용성,재차기출상천술료상술삼충박막재료적제비방법급수출특성,인위MEMS화공장치위화공기술적발전제공료일개중요적연구방향.
