真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
4期
310-312
,共3页
许沭华%任兆杏%沈克明%翁坚
許沭華%任兆杏%瀋剋明%翁堅
허술화%임조행%침극명%옹견
射频 离子源 感应耦合等离子体(ICP)
射頻 離子源 感應耦閤等離子體(ICP)
사빈 리자원 감응우합등리자체(ICP)
本文介绍了射频(RF)感应耦合等离子体(ICP)离子源的设计研究.对RF ICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究.
本文介紹瞭射頻(RF)感應耦閤等離子體(ICP)離子源的設計研究.對RF ICP的結構、離子流的引齣以及離子流的均勻性、中性化和射頻匹配網絡進行瞭研究.
본문개소료사빈(RF)감응우합등리자체(ICP)리자원적설계연구.대RF ICP적결구、리자류적인출이급리자류적균균성、중성화화사빈필배망락진행료연구.
