激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2003年
5期
14-20
,共7页
刘丹%程兆谷%高海军%黄惠杰%赵全忠%谌巍
劉丹%程兆穀%高海軍%黃惠傑%趙全忠%諶巍
류단%정조곡%고해군%황혜걸%조전충%심외
步进扫描投影光刻机%工件台%掩模台%套刻精度
步進掃描投影光刻機%工件檯%掩模檯%套刻精度
보진소묘투영광각궤%공건태%엄모태%투각정도
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.
著重介紹瞭噹前國外步進掃描投影光刻機的工件檯和掩模檯的髮展狀況,併對套刻精度和整機精度進行瞭分析.
착중개소료당전국외보진소묘투영광각궤적공건태화엄모태적발전상황,병대투각정도화정궤정도진행료분석.
