山东师范大学学报（自然科学版）
山東師範大學學報（自然科學版）
산동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGOND NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2006年
4期
44-46
,共3页
孙莉莉%薛成山%庄惠照%艾玉杰%孙传伟%王福学
孫莉莉%薛成山%莊惠照%艾玉傑%孫傳偉%王福學
손리리%설성산%장혜조%애옥걸%손전위%왕복학
GaN%氨化%磁控溅射
GaN%氨化%磁控濺射
GaN%안화%자공천사
简要介绍了溅射后氨化法制备氮化镓薄膜(纳米结构)的技术,总结了近年来用此方法所取得的科研成果,并着重介绍了衬底结构对氮化镓薄膜形貌的影响,以期进行理论计算、预测,并最终实现可控生长有所帮助.
簡要介紹瞭濺射後氨化法製備氮化鎵薄膜(納米結構)的技術,總結瞭近年來用此方法所取得的科研成果,併著重介紹瞭襯底結構對氮化鎵薄膜形貌的影響,以期進行理論計算、預測,併最終實現可控生長有所幫助.
간요개소료천사후안화법제비담화가박막(납미결구)적기술,총결료근년래용차방법소취득적과연성과,병착중개소료츤저결구대담화가박막형모적영향,이기진행이론계산、예측,병최종실현가공생장유소방조.
