CAJ | 학술논문

利用电化学沉积法,以65±1 ℃的0.1 mol/L Zn(NO3)2水溶液作为电解质溶液,在方块电阻为118 Ω/□的氧化铟锡(ITO)玻璃基板上制备了ZnO薄膜.利用扫描电镜观察了ZnO薄膜表面形貌,结果表明随着电极电势的降低或沉积时间的增加,ZnO薄膜表面颗粒的六方形结构逐渐明显.利用X射线衍射技术分析了阴极电势和沉积时间对ZnO薄膜择优取向的影响,结果表明ZnO薄膜的(002)择优取向是随电极电势的下降而逐渐减弱的,而且随沉积时间的增加(002)择优取向也逐渐减弱.透射光谱测量表明,实验所获得的ZnO薄膜在可见光范围内是透光的,平均透过率高达80%～90%,不同阴极电势下的禁带宽度均为3.5 eV左右,且在阴极电势为-2.5 V时,禁带宽度随沉积时间的增加而逐渐减小.
이용전화학침적법,이65±1 ℃적0.1 mol/L Zn(NO3)2수용액작위전해질용액,재방괴전조위118 Ω/□적양화인석(ITO)파리기판상제비료ZnO박막.이용소묘전경관찰료ZnO박막표면형모,결과표명수착전겁전세적강저혹침적시간적증가,ZnO박막표면과립적륙방형결구축점명현.이용X사선연사기술분석료음겁전세화침적시간대ZnO박막택우취향적영향,결과표명ZnO박막적(002)택우취향시수전겁전세적하강이축점감약적,이차수침적시간적증가(002)택우취향야축점감약.투사광보측량표명,실험소획득적ZnO박막재가견광범위내시투광적,평균투과솔고체80%～90%,불동음겁전세하적금대관도균위3.5 eV좌우,차재음겁전세위-2.5 V시,금대관도수침적시간적증가이축점감소.