压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2008年
5期
646-648
,共3页
杨岳锋%隆志力%段吉安%严勇文
楊嶽鋒%隆誌力%段吉安%嚴勇文
양악봉%륭지력%단길안%엄용문
换能系统%夹持环%振动模态%有限元分析
換能繫統%夾持環%振動模態%有限元分析
환능계통%협지배%진동모태%유한원분석
换能系统是热超声引线键合装备的核心部分,夹持环对系统起安装支撑的作用,其安装方式直接影响换能系统的能量传递与振动模态.利用有限元法分析了夹持环对换能系统振动模态的影响,结果表明,对夹持环未施加约束、施加z向约束时换能系统的夹持环会出现振动现象,而施加x向约束时,工作频率下的主振型完全不符合要求;改变夹持环的安装位置,对换能系统的节点位置及谐振频率都有一定的影响,实验测得在全约束情况下,换能系统的节点位置为58 mm,与分析结果一致;换能系统在工作频率附近包含有其他的振动模态,在键合过程中易被激发出来,由此消耗超声能量而降低芯片的键合质量,这些振动模态必须得到抑制.
換能繫統是熱超聲引線鍵閤裝備的覈心部分,夾持環對繫統起安裝支撐的作用,其安裝方式直接影響換能繫統的能量傳遞與振動模態.利用有限元法分析瞭夾持環對換能繫統振動模態的影響,結果錶明,對夾持環未施加約束、施加z嚮約束時換能繫統的夾持環會齣現振動現象,而施加x嚮約束時,工作頻率下的主振型完全不符閤要求;改變夾持環的安裝位置,對換能繫統的節點位置及諧振頻率都有一定的影響,實驗測得在全約束情況下,換能繫統的節點位置為58 mm,與分析結果一緻;換能繫統在工作頻率附近包含有其他的振動模態,在鍵閤過程中易被激髮齣來,由此消耗超聲能量而降低芯片的鍵閤質量,這些振動模態必鬚得到抑製.
환능계통시열초성인선건합장비적핵심부분,협지배대계통기안장지탱적작용,기안장방식직접영향환능계통적능량전체여진동모태.이용유한원법분석료협지배대환능계통진동모태적영향,결과표명,대협지배미시가약속、시가z향약속시환능계통적협지배회출현진동현상,이시가x향약속시,공작빈솔하적주진형완전불부합요구;개변협지배적안장위치,대환능계통적절점위치급해진빈솔도유일정적영향,실험측득재전약속정황하,환능계통적절점위치위58 mm,여분석결과일치;환능계통재공작빈솔부근포함유기타적진동모태,재건합과정중역피격발출래,유차소모초성능량이강저심편적건합질량,저사진동모태필수득도억제.
