电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2009年
2期
127-130
,共4页
殷伯华%初明璋%林云生%韩立
慇伯華%初明璋%林雲生%韓立
은백화%초명장%림운생%한립
关键尺寸%原子力显微镜%扫描电子显微镜%3D图像
關鍵呎吋%原子力顯微鏡%掃描電子顯微鏡%3D圖像
관건척촌%원자력현미경%소묘전자현미경%3D도상
本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用.通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位.根据芯片在线关键尺寸检测的具体要求,提出了原子力显微镜急待解决的相关研究内容.
本文介紹瞭關鍵呎吋原子力顯微鏡(CD-AFM)在半導體芯片製造中的應用.通過對比現有的半導體檢測儀器與原子力顯微鏡的工作原理和檢測方法,詳細探討瞭原子力顯微鏡在目前的半導體芯片45nm節點工藝關鍵呎吋檢測中的優勢地位.根據芯片在線關鍵呎吋檢測的具體要求,提齣瞭原子力顯微鏡急待解決的相關研究內容.
본문개소료관건척촌원자력현미경(CD-AFM)재반도체심편제조중적응용.통과대비현유적반도체검측의기여원자력현미경적공작원리화검측방법,상세탐토료원자력현미경재목전적반도체심편45nm절점공예관건척촌검측중적우세지위.근거심편재선관건척촌검측적구체요구,제출료원자력현미경급대해결적상관연구내용.
