机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2010年
7期
122-127
,共6页
步进扫描运动%约束基准%轨迹规划%重叠
步進掃描運動%約束基準%軌跡規劃%重疊
보진소묘운동%약속기준%궤적규화%중첩
研究一种步进扫描投影光刻机的步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法.根据给定的系统动力学约束,以保证最大加速度与最大速度不超限为目标,建立步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的约束基准.依据该基准,分析步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的各种可能情形,推导在最大程度上缩短运动执行时间的轨迹拐点调整计算公式.以此为基础,提出步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法.通过仿真计算验证算法的正确性与有效性.实际应用证明该算法能在保证运动精度基础上,极大地提高生产率.该算法已被100 nm步进扫描投影光刻机工作台超精密运动控制系统所采用.
研究一種步進掃描投影光刻機的步進運動與掃描運動的軌跡重疊規劃算法.根據給定的繫統動力學約束,以保證最大加速度與最大速度不超限為目標,建立步進運動與掃描運動軌跡重疊規劃的約束基準.依據該基準,分析步進運動與掃描運動軌跡重疊規劃的各種可能情形,推導在最大程度上縮短運動執行時間的軌跡枴點調整計算公式.以此為基礎,提齣步進運動與掃描運動的軌跡重疊規劃算法.通過倣真計算驗證算法的正確性與有效性.實際應用證明該算法能在保證運動精度基礎上,極大地提高生產率.該算法已被100 nm步進掃描投影光刻機工作檯超精密運動控製繫統所採用.
연구일충보진소묘투영광각궤적보진운동여소묘운동적궤적중첩규화산법.근거급정적계통동역학약속,이보증최대가속도여최대속도불초한위목표,건립보진운동여소묘운동궤적중첩규화적약속기준.의거해기준,분석보진운동여소묘운동궤적중첩규화적각충가능정형,추도재최대정도상축단운동집행시간적궤적괴점조정계산공식.이차위기출,제출보진운동여소묘운동적궤적중첩규화산법.통과방진계산험증산법적정학성여유효성.실제응용증명해산법능재보증운동정도기출상,겁대지제고생산솔.해산법이피100 nm보진소묘투영광각궤공작태초정밀운동공제계통소채용.
