计算机与数字工程
計算機與數字工程
계산궤여수자공정
COMPUTER & DIGITAL ENGINEERING
2010年
9期
35-37
,共3页
吴爱华%梁法国%郑世棋%乔玉娥%翟玉卫
吳愛華%樑法國%鄭世棋%喬玉娥%翟玉衛
오애화%량법국%정세기%교옥아%적옥위
微电子器件%可靠性检测%红外热像法%精确测温
微電子器件%可靠性檢測%紅外熱像法%精確測溫
미전자기건%가고성검측%홍외열상법%정학측온
为改善微电子器件性能,提高可靠性,确定筛选、考核条件等都必须对器件的结温、表面温度分布以及热斑等热特性进行精确测量,红外热像法是当前测量微电子器件热特性最有效的方法之一.文章针对InfrascopeⅡ型显微红外热像仪在实际应用中如何提高其测温准确度和一致性等问题进行了研究,重点分析了样品发射率、背景环境和大气衰减等因素的影响,并给出验证解决方案,取得了满意的结果.
為改善微電子器件性能,提高可靠性,確定篩選、攷覈條件等都必鬚對器件的結溫、錶麵溫度分佈以及熱斑等熱特性進行精確測量,紅外熱像法是噹前測量微電子器件熱特性最有效的方法之一.文章針對InfrascopeⅡ型顯微紅外熱像儀在實際應用中如何提高其測溫準確度和一緻性等問題進行瞭研究,重點分析瞭樣品髮射率、揹景環境和大氣衰減等因素的影響,併給齣驗證解決方案,取得瞭滿意的結果.
위개선미전자기건성능,제고가고성,학정사선、고핵조건등도필수대기건적결온、표면온도분포이급열반등열특성진행정학측량,홍외열상법시당전측량미전자기건열특성최유효적방법지일.문장침대InfrascopeⅡ형현미홍외열상의재실제응용중여하제고기측온준학도화일치성등문제진행료연구,중점분석료양품발사솔、배경배경화대기쇠감등인소적영향,병급출험증해결방안,취득료만의적결과.
