真空
真空
진공
VACUUM
2010年
5期
13-15
,共3页
冯红亮%梁艳%郜小勇%张增院%马姣民
馮紅亮%樑豔%郜小勇%張增院%馬姣民
풍홍량%량염%고소용%장증원%마교민
氧化银薄膜%磁控溅射%光快速热处理%多孔薄膜
氧化銀薄膜%磁控濺射%光快速熱處理%多孔薄膜
양화은박막%자공천사%광쾌속열처리%다공박막
利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征.制备的氧化银薄膜经过5 min光快速热处理后,薄膜由多晶转变为非晶;随着退火温度由200℃升高到300℃,氧化银薄膜表面由疏松、多孔结构向沟道、坑和孔洞联通结构,再向孔洞和洼地结构演变.这些演变归结为氧化银薄膜的不稳定性和严重的表面再构的结果.
利用直流反應磁控濺射技術,在玻璃襯底上製備瞭氧化銀薄膜.X射線衍射和掃描電子顯微鏡錶明製備的氧化銀薄膜主要由Ag和Ag2O組成,具有疏鬆、多孔的錶麵特徵.製備的氧化銀薄膜經過5 min光快速熱處理後,薄膜由多晶轉變為非晶;隨著退火溫度由200℃升高到300℃,氧化銀薄膜錶麵由疏鬆、多孔結構嚮溝道、坑和孔洞聯通結構,再嚮孔洞和窪地結構縯變.這些縯變歸結為氧化銀薄膜的不穩定性和嚴重的錶麵再構的結果.
이용직류반응자공천사기술,재파리츤저상제비료양화은박막.X사선연사화소묘전자현미경표명제비적양화은박막주요유Ag화Ag2O조성,구유소송、다공적표면특정.제비적양화은박막경과5 min광쾌속열처리후,박막유다정전변위비정;수착퇴화온도유200℃승고도300℃,양화은박막표면유소송、다공결구향구도、갱화공동련통결구,재향공동화와지결구연변.저사연변귀결위양화은박막적불은정성화엄중적표면재구적결과.
