传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
8期
53-55
,共3页
聚苯胺%复合薄膜%压电传感器%甲烷气体
聚苯胺%複閤薄膜%壓電傳感器%甲烷氣體
취분알%복합박막%압전전감기%갑완기체
研究了一种基于压电原理的甲烷传感器.运用化学氧化聚合法和层层自组装法制备了对甲烷气体敏感的PANI/PdO复合薄膜,通过溅射工艺将薄膜生成在压电材料上,利用敏感薄膜对甲烷的吸附改变晶振频率,从而检测出甲烷气体的含量.实验表明:压电甲烷传感器具有较好的选择性,在0％～2％的甲烷体积分数范围内具有较好的线性输出.
研究瞭一種基于壓電原理的甲烷傳感器.運用化學氧化聚閤法和層層自組裝法製備瞭對甲烷氣體敏感的PANI/PdO複閤薄膜,通過濺射工藝將薄膜生成在壓電材料上,利用敏感薄膜對甲烷的吸附改變晶振頻率,從而檢測齣甲烷氣體的含量.實驗錶明:壓電甲烷傳感器具有較好的選擇性,在0％～2％的甲烷體積分數範圍內具有較好的線性輸齣.
연구료일충기우압전원리적갑완전감기.운용화학양화취합법화층층자조장법제비료대갑완기체민감적PANI/PdO복합박막,통과천사공예장박막생성재압전재료상,이용민감박막대갑완적흡부개변정진빈솔,종이검측출갑완기체적함량.실험표명:압전갑완전감기구유교호적선택성,재0％～2％적갑완체적분수범위내구유교호적선성수출.
