微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
5期
291-301
,共11页
谢吉鹏%马朝柱%杨汀%姚博%彭应全
謝吉鵬%馬朝柱%楊汀%姚博%彭應全
사길붕%마조주%양정%요박%팽응전
有机场效应晶体管(OFET)%有机半导体材料%栅介质层%电极界面%衬底温度%退火处理
有機場效應晶體管(OFET)%有機半導體材料%柵介質層%電極界麵%襯底溫度%退火處理
유궤장효응정체관(OFET)%유궤반도체재료%책개질층%전겁계면%츤저온도%퇴화처리
介绍了近两年新报道的有机半导体材料,列举了其场效应性能参数；综述了有机场效应晶体管(OFET)在器件结构上的改进,重点阐述了基于常见有机功能层材料富勒烯及其衍生物、并五苯、聚3-己基噻吩的OFET对栅介质层及有机功能层与电极的界面的改进,讨论了器件结构改进对OFET阈值电压、开关比、载流子迁移率的影响；介绍了衬底温度、退火处理对OFET性能的影响.最后,针对有机场效应晶体管研究现状,指出未来研究中应注重开发高迁移率、高薄膜稳定性的有机功能材料和高介电常数、高成膜质量的有机栅介质材料,继续优化器件结构,改进制备工艺以提高器件性能.
介紹瞭近兩年新報道的有機半導體材料,列舉瞭其場效應性能參數；綜述瞭有機場效應晶體管(OFET)在器件結構上的改進,重點闡述瞭基于常見有機功能層材料富勒烯及其衍生物、併五苯、聚3-己基噻吩的OFET對柵介質層及有機功能層與電極的界麵的改進,討論瞭器件結構改進對OFET閾值電壓、開關比、載流子遷移率的影響；介紹瞭襯底溫度、退火處理對OFET性能的影響.最後,針對有機場效應晶體管研究現狀,指齣未來研究中應註重開髮高遷移率、高薄膜穩定性的有機功能材料和高介電常數、高成膜質量的有機柵介質材料,繼續優化器件結構,改進製備工藝以提高器件性能.
개소료근량년신보도적유궤반도체재료,열거료기장효응성능삼수；종술료유궤장효응정체관(OFET)재기건결구상적개진,중점천술료기우상견유궤공능층재료부륵희급기연생물、병오분、취3-기기새분적OFET대책개질층급유궤공능층여전겁적계면적개진,토론료기건결구개진대OFET역치전압、개관비、재류자천이솔적영향；개소료츤저온도、퇴화처리대OFET성능적영향.최후,침대유궤장효응정체관연구현상,지출미래연구중응주중개발고천이솔、고박막은정성적유궤공능재료화고개전상수、고성막질량적유궤책개질재료,계속우화기건결구,개진제비공예이제고기건성능.
