微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
369-370
,共2页
沈德新%张春权%罗仲梓%周勇亮%张峰%李佳%田昭武
瀋德新%張春權%囉仲梓%週勇亮%張峰%李佳%田昭武
침덕신%장춘권%라중재%주용량%장봉%리가%전소무
微流控系统%PDMS芯片%键合%中真空
微流控繫統%PDMS芯片%鍵閤%中真空
미류공계통%PDMS심편%건합%중진공
聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点,是极具前景的μTAS应用材料[1].由于固化后的PDMS表面具有一定的粘附力,一对成型后的PDMS基片不加任何处理,即可借助分子间的引力自然粘合,但这种粘合强度有限,容易发生漏液.Duffy[2]等人采用高真空氧等离子体对PDMS进行处理,实现了PDMS芯片的永久性键合.但这种键合技术需要昂贵的高真空等离子体发生设备.孟斐[3]等人报道了利用紫外光照射对PDMS芯片表面进行改性后键合的方法.
聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力學性質和光學性質以及生物相容性等特點,是極具前景的μTAS應用材料[1].由于固化後的PDMS錶麵具有一定的粘附力,一對成型後的PDMS基片不加任何處理,即可藉助分子間的引力自然粘閤,但這種粘閤彊度有限,容易髮生漏液.Duffy[2]等人採用高真空氧等離子體對PDMS進行處理,實現瞭PDMS芯片的永久性鍵閤.但這種鍵閤技術需要昂貴的高真空等離子體髮生設備.孟斐[3]等人報道瞭利用紫外光照射對PDMS芯片錶麵進行改性後鍵閤的方法.
취이갑기규양완(PDMS)유우구유량호적역학성질화광학성질이급생물상용성등특점,시겁구전경적μTAS응용재료[1].유우고화후적PDMS표면구유일정적점부력,일대성형후적PDMS기편불가임하처리,즉가차조분자간적인력자연점합,단저충점합강도유한,용역발생루액.Duffy[2]등인채용고진공양등리자체대PDMS진행처리,실현료PDMS심편적영구성건합.단저충건합기술수요앙귀적고진공등리자체발생설비.맹비[3]등인보도료이용자외광조사대PDMS심편표면진행개성후건합적방법.
