稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2004年
7期
706-709
,共4页
任凤章%郑茂盛%周根树%赵文轸%顾海澄
任鳳章%鄭茂盛%週根樹%趙文軫%顧海澄
임봉장%정무성%주근수%조문진%고해징
薄膜%内应力%悬臂梁法%电子密度%TFD模型
薄膜%內應力%懸臂樑法%電子密度%TFD模型
박막%내응력%현비량법%전자밀도%TFD모형
用电镀工艺在不锈钢基体上镀制了Cu,Ag,Ni膜和Ti基体上制备了Ni膜,并用悬臂梁法和X射线法测量了膜中的残余应力.并基于改进的TFD模型,对任意膜厚下由界面电子转移引起的膜内应力作了理论估算.结果表明,理论估算所给出的膜内应力与实验测量值具有可比性.这说明理论计算模型具有较高的准确性和膜内残余应力主要由界面电子转移引起.
用電鍍工藝在不鏽鋼基體上鍍製瞭Cu,Ag,Ni膜和Ti基體上製備瞭Ni膜,併用懸臂樑法和X射線法測量瞭膜中的殘餘應力.併基于改進的TFD模型,對任意膜厚下由界麵電子轉移引起的膜內應力作瞭理論估算.結果錶明,理論估算所給齣的膜內應力與實驗測量值具有可比性.這說明理論計算模型具有較高的準確性和膜內殘餘應力主要由界麵電子轉移引起.
용전도공예재불수강기체상도제료Cu,Ag,Ni막화Ti기체상제비료Ni막,병용현비량법화X사선법측량료막중적잔여응력.병기우개진적TFD모형,대임의막후하유계면전자전이인기적막내응력작료이론고산.결과표명,이론고산소급출적막내응력여실험측량치구유가비성.저설명이론계산모형구유교고적준학성화막내잔여응력주요유계면전자전이인기.
