山东陶瓷
山東陶瓷
산동도자
SHANDONG CERAMICS
2005年
1期
17-21
,共5页
AlN薄膜%制备方法%性能%应用
AlN薄膜%製備方法%性能%應用
AlN박막%제비방법%성능%응용
AlN薄膜是宽带隙绝缘材料,在热、电、光和机械等方面具有非常良好的综合性能.本文对近些年来AlN薄膜的制备方法和性能研究作了简要的回顾介绍,阐述了AlN薄膜的应用现状及前景.
AlN薄膜是寬帶隙絕緣材料,在熱、電、光和機械等方麵具有非常良好的綜閤性能.本文對近些年來AlN薄膜的製備方法和性能研究作瞭簡要的迴顧介紹,闡述瞭AlN薄膜的應用現狀及前景.
AlN박막시관대극절연재료,재열、전、광화궤계등방면구유비상량호적종합성능.본문대근사년래AlN박막적제비방법화성능연구작료간요적회고개소,천술료AlN박막적응용현상급전경.
