微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
3期
139-141
,共3页
闫勇刚%马强%黄俊杰%刘万里%孙大许%梁智永
閆勇剛%馬彊%黃俊傑%劉萬裏%孫大許%樑智永
염용강%마강%황준걸%류만리%손대허%량지영
原子力显微镜%信息存储介质%光盘%软盘%检测
原子力顯微鏡%信息存儲介質%光盤%軟盤%檢測
원자력현미경%신식존저개질%광반%연반%검측
介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域.利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000 Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数据可以看出,DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流,而软盘将被淘汰;利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工,刻蚀出"河南理工大学"的字样.
介紹瞭原子力顯微鏡(AFM)的工作原理、組成、特點及其應用領域.利用AFM對光盤和軟盤錶麵結構進行瞭三維檢測,使用CSPM2000 Imager軟件對掃描得到的圖像進行瞭計算和分析,由所得數據可以看齣,DVD光盤將取代CD光盤成為外存的主流,而軟盤將被淘汰;利用原子力顯微鏡對單晶硅進行基于金針的納米加工,刻蝕齣"河南理工大學"的字樣.
개소료원자력현미경(AFM)적공작원리、조성、특점급기응용영역.이용AFM대광반화연반표면결구진행료삼유검측,사용CSPM2000 Imager연건대소묘득도적도상진행료계산화분석,유소득수거가이간출,DVD광반장취대CD광반성위외존적주류,이연반장피도태;이용원자력현미경대단정규진행기우금침적납미가공,각식출"하남리공대학"적자양.
