计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2007年
1期
20-22,33
,共4页
贾世奎%李成贵%熊昌友%刘春红%孙丹
賈世奎%李成貴%熊昌友%劉春紅%孫丹
가세규%리성귀%웅창우%류춘홍%손단
超光滑表面%粗糙度%测量%精度
超光滑錶麵%粗糙度%測量%精度
초광활표면%조조도%측량%정도
为分析测量仪器对测量结果的影响及结果差异的工艺原因,选取K9玻璃材料分两步在某抛光机上进行浮动抛光,用依据四种不同测量原理的表面形貌测量仪测量所加工的超光滑表面,对比各仪器测量结果,得出该试件表面实际所达到的精度;分析各仪器测量原理、分辨力决定因素,区分造成测量误差的原因及它们各自对粗糙度参数的影响,得到该超精密加工条件下,玻璃工件表面粗糙度测量仪器选择原则和注意事项.
為分析測量儀器對測量結果的影響及結果差異的工藝原因,選取K9玻璃材料分兩步在某拋光機上進行浮動拋光,用依據四種不同測量原理的錶麵形貌測量儀測量所加工的超光滑錶麵,對比各儀器測量結果,得齣該試件錶麵實際所達到的精度;分析各儀器測量原理、分辨力決定因素,區分造成測量誤差的原因及它們各自對粗糙度參數的影響,得到該超精密加工條件下,玻璃工件錶麵粗糙度測量儀器選擇原則和註意事項.
위분석측량의기대측량결과적영향급결과차이적공예원인,선취K9파리재료분량보재모포광궤상진행부동포광,용의거사충불동측량원리적표면형모측량의측량소가공적초광활표면,대비각의기측량결과,득출해시건표면실제소체도적정도;분석각의기측량원리、분변력결정인소,구분조성측량오차적원인급타문각자대조조도삼수적영향,득도해초정밀가공조건하,파리공건표면조조도측량의기선택원칙화주의사항.
