功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
3期
430-432
,共3页
谭浚哲%肖定全%张青磊%吴家刚%朱基亮%朱建国
譚浚哲%肖定全%張青磊%吳傢剛%硃基亮%硃建國
담준철%초정전%장청뢰%오가강%주기량%주건국
Monte Carlo模拟%异质外延模拟%扩散势垒%薄膜生长
Monte Carlo模擬%異質外延模擬%擴散勢壘%薄膜生長
Monte Carlo모의%이질외연모의%확산세루%박막생장
利用Monte Carlo方法分别模拟了在SrTiO3基底上沉积MgO薄膜和在MgO基底上沉积SrTiO3薄膜.模拟中,选取与实验中薄膜生长相近的参数条件,引入了新的参数扩散势垒,得到了在晶格正失配(张应力)和负失配(压应力)下薄膜生长的形貌图以及薄膜粗糙度的变化曲线图,分析了张应力和压应力对薄膜生长形貌的影响.模拟结果与文献报道的外延薄膜生长模式的实验观察结果一致.
利用Monte Carlo方法分彆模擬瞭在SrTiO3基底上沉積MgO薄膜和在MgO基底上沉積SrTiO3薄膜.模擬中,選取與實驗中薄膜生長相近的參數條件,引入瞭新的參數擴散勢壘,得到瞭在晶格正失配(張應力)和負失配(壓應力)下薄膜生長的形貌圖以及薄膜粗糙度的變化麯線圖,分析瞭張應力和壓應力對薄膜生長形貌的影響.模擬結果與文獻報道的外延薄膜生長模式的實驗觀察結果一緻.
이용Monte Carlo방법분별모의료재SrTiO3기저상침적MgO박막화재MgO기저상침적SrTiO3박막.모의중,선취여실험중박막생장상근적삼수조건,인입료신적삼수확산세루,득도료재정격정실배(장응력)화부실배(압응력)하박막생장적형모도이급박막조조도적변화곡선도,분석료장응력화압응력대박막생장형모적영향.모의결과여문헌보도적외연박막생장모식적실험관찰결과일치.
