真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
1期
90-95
,共6页
朱绪飞%宋晔%俞华栋%贾红兵%杨修丽%肖迎红%陆路德%汪信
硃緒飛%宋曄%俞華棟%賈紅兵%楊脩麗%肖迎紅%陸路德%汪信
주서비%송엽%유화동%가홍병%양수려%초영홍%륙로덕%왕신
阳极氧化%多孔阳极氧化铝(PAA)%真空%氧气析出%形成机理
暘極氧化%多孔暘極氧化鋁(PAA)%真空%氧氣析齣%形成機理
양겁양화%다공양겁양화려(PAA)%진공%양기석출%형성궤리
为验证氧气析出对PAA孔道产生和发展的作用,深入探讨PAA的形成机理,本文分别研究了在真空下和常压下,铝在磷酸溶液中的阳极氧化过程,用SEM表征了不同气压下PAA孔道的微观结构.在低气压下制备PAA膜,因为氧气析出速度快,所以同样条件下得到的PAA的孔道比常压下的孔径大、孔壁薄.结果表明,"酸性溶解腐蚀孔洞"只发生在氧化膜的表层,而表层下方是规则的"氧气析出孔道";PAA孔道的生成和发展是内部氧气析出孔道和酸性溶解腐蚀孔洞贯通的过程,但起决定作用的是"氧气气泡模具效应".
為驗證氧氣析齣對PAA孔道產生和髮展的作用,深入探討PAA的形成機理,本文分彆研究瞭在真空下和常壓下,鋁在燐痠溶液中的暘極氧化過程,用SEM錶徵瞭不同氣壓下PAA孔道的微觀結構.在低氣壓下製備PAA膜,因為氧氣析齣速度快,所以同樣條件下得到的PAA的孔道比常壓下的孔徑大、孔壁薄.結果錶明,"痠性溶解腐蝕孔洞"隻髮生在氧化膜的錶層,而錶層下方是規則的"氧氣析齣孔道";PAA孔道的生成和髮展是內部氧氣析齣孔道和痠性溶解腐蝕孔洞貫通的過程,但起決定作用的是"氧氣氣泡模具效應".
위험증양기석출대PAA공도산생화발전적작용,심입탐토PAA적형성궤리,본문분별연구료재진공하화상압하,려재린산용액중적양겁양화과정,용SEM표정료불동기압하PAA공도적미관결구.재저기압하제비PAA막,인위양기석출속도쾌,소이동양조건하득도적PAA적공도비상압하적공경대、공벽박.결과표명,"산성용해부식공동"지발생재양화막적표층,이표층하방시규칙적"양기석출공도";PAA공도적생성화발전시내부양기석출공도화산성용해부식공동관통적과정,단기결정작용적시"양기기포모구효응".
