工业计量
工業計量
공업계량
INDUSTRIAL MEASUREMENT
2010年
3期
4-6
,共3页
电阻率%校准%测量不确定度
電阻率%校準%測量不確定度
전조솔%교준%측량불학정도
文章对晶片电阻率测试系统的原理、结构及计量特性进行了阐述,给出了校准晶片电阻率测试系统的方法,并对本系统测量结果不确定度进行了评定.
文章對晶片電阻率測試繫統的原理、結構及計量特性進行瞭闡述,給齣瞭校準晶片電阻率測試繫統的方法,併對本繫統測量結果不確定度進行瞭評定.
문장대정편전조솔측시계통적원리、결구급계량특성진행료천술,급출료교준정편전조솔측시계통적방법,병대본계통측량결과불학정도진행료평정.
