人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
2期
430-434
,共5页
夏齐萍%汪小小%吕建国%宋学萍%孙兆奇
夏齊萍%汪小小%呂建國%宋學萍%孫兆奇
하제평%왕소소%려건국%송학평%손조기
射频反应磁控溅射%ZnO薄膜%微结构%光学性能
射頻反應磁控濺射%ZnO薄膜%微結構%光學性能
사빈반응자공천사%ZnO박막%미결구%광학성능
采用射频反应磁控溅射技术在石英和Si衬底上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,样品的氧氩流量比分别为10:40,20:40,30:40,40:40.利用X射线衍射仪、表面轮廓仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了样品的微结构与光学特性.研究表明:氧氩流量比为30:40的样品结晶质量最好.所制备的ZnO薄膜的可见光平均透射率均大于87%.随着氧氩流量比的增大,薄膜的透射率呈非单调变化,氧氩流量比为30:40的样品在可见光范围的平均透射率可达93%.光学带隙随着氧氩流量比的增大,先增大后减小.与块材ZnO的带隙(3.37 eV)相比,ZnO薄膜的带隙均变窄.
採用射頻反應磁控濺射技術在石英和Si襯底上製備瞭高度c軸擇優取嚮的ZnO薄膜,樣品的氧氬流量比分彆為10:40,20:40,30:40,40:40.利用X射線衍射儀、錶麵輪廓儀、原子力顯微鏡和紫外-可見分光光度計研究瞭樣品的微結構與光學特性.研究錶明:氧氬流量比為30:40的樣品結晶質量最好.所製備的ZnO薄膜的可見光平均透射率均大于87%.隨著氧氬流量比的增大,薄膜的透射率呈非單調變化,氧氬流量比為30:40的樣品在可見光範圍的平均透射率可達93%.光學帶隙隨著氧氬流量比的增大,先增大後減小.與塊材ZnO的帶隙(3.37 eV)相比,ZnO薄膜的帶隙均變窄.
채용사빈반응자공천사기술재석영화Si츤저상제비료고도c축택우취향적ZnO박막,양품적양아류량비분별위10:40,20:40,30:40,40:40.이용X사선연사의、표면륜곽의、원자력현미경화자외-가견분광광도계연구료양품적미결구여광학특성.연구표명:양아류량비위30:40적양품결정질량최호.소제비적ZnO박막적가견광평균투사솔균대우87%.수착양아류량비적증대,박막적투사솔정비단조변화,양아류량비위30:40적양품재가견광범위적평균투사솔가체93%.광학대극수착양아류량비적증대,선증대후감소.여괴재ZnO적대극(3.37 eV)상비,ZnO박막적대극균변착.
