金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2003年
9期
979-983
,共5页
纪爱玲%汪伟%宋贵宏%汪爱英%孙超%闻立时
紀愛玲%汪偉%宋貴宏%汪愛英%孫超%聞立時
기애령%왕위%송귀굉%왕애영%손초%문립시
Cr2O3薄膜%电弧离子镀%组织结构%脉冲偏压
Cr2O3薄膜%電弧離子鍍%組織結構%脈遲偏壓
Cr2O3박막%전호리자도%조직결구%맥충편압
采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa.
採用電弧離子鍍方法在不鏽鋼基體上沉積Cr2O3薄膜.研究瞭氧流量和脈遲偏壓對薄膜相結構、沉積速率、錶麵形貌、薄膜硬度的影響.結果錶明,氧流量和脈遲偏壓對薄膜的相結構有較大的影響.在氧流量為130 cm3/s、脈遲偏壓為100V時,齣現Cr2O3{001}麵擇優取嚮;氧流量增高,脈遲偏壓增大時,薄膜的錶麵形貌得到改善;在脈遲偏壓為-200 V、氧流量為130 cm3/s時,可穫得符閤Cr2O3化學計量比的薄膜,其硬度達到36 GPa.
채용전호리자도방법재불수강기체상침적Cr2O3박막.연구료양류량화맥충편압대박막상결구、침적속솔、표면형모、박막경도적영향.결과표명,양류량화맥충편압대박막적상결구유교대적영향.재양류량위130 cm3/s、맥충편압위100V시,출현Cr2O3{001}면택우취향;양류량증고,맥충편압증대시,박막적표면형모득도개선;재맥충편압위-200 V、양류량위130 cm3/s시,가획득부합Cr2O3화학계량비적박막,기경도체도36 GPa.
