西北大学学报(自然科学版)
西北大學學報(自然科學版)
서북대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NORTHWEST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
3期
279-282
,共4页
阎军锋%何崇斌%王雪文%张志勇
閻軍鋒%何崇斌%王雪文%張誌勇
염군봉%하숭빈%왕설문%장지용
MO-PECVD方法%SnO2薄膜%气敏
MO-PECVD方法%SnO2薄膜%氣敏
MO-PECVD방법%SnO2박막%기민
目的探索制备SnO2薄膜的最佳工艺,研究氧分压与其薄膜元件气敏性能间的关系.方法以金属有机化合物(MO)四甲基锡[Sn(CH3)4]为源物质,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD).利用X射线衍射仪和扫描电镜(SEM)对薄膜的晶体结构、SnO2晶体的颗粒度进行了表征,对不同样品的气敏性能做了测试分析.结果优化出制备SnO2薄膜的最佳工艺.结论氧分压是影响SnO2颗粒尺寸大小及薄膜元件气敏性能的重要因素.
目的探索製備SnO2薄膜的最佳工藝,研究氧分壓與其薄膜元件氣敏性能間的關繫.方法以金屬有機化閤物(MO)四甲基錫[Sn(CH3)4]為源物質,採用等離子體增彊化學氣相沉積技術(PECVD).利用X射線衍射儀和掃描電鏡(SEM)對薄膜的晶體結構、SnO2晶體的顆粒度進行瞭錶徵,對不同樣品的氣敏性能做瞭測試分析.結果優化齣製備SnO2薄膜的最佳工藝.結論氧分壓是影響SnO2顆粒呎吋大小及薄膜元件氣敏性能的重要因素.
목적탐색제비SnO2박막적최가공예,연구양분압여기박막원건기민성능간적관계.방법이금속유궤화합물(MO)사갑기석[Sn(CH3)4]위원물질,채용등리자체증강화학기상침적기술(PECVD).이용X사선연사의화소묘전경(SEM)대박막적정체결구、SnO2정체적과립도진행료표정,대불동양품적기민성능주료측시분석.결과우화출제비SnO2박막적최가공예.결론양분압시영향SnO2과립척촌대소급박막원건기민성능적중요인소.
