真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
5期
324-328
,共5页
张永炬%余森江%蔡萍根%叶全林%金进生%叶高翔
張永炬%餘森江%蔡萍根%葉全林%金進生%葉高翔
장영거%여삼강%채평근%협전림%금진생%협고상
液体基底%Al薄膜%带状结构%内应力
液體基底%Al薄膜%帶狀結構%內應力
액체기저%Al박막%대상결구%내응력
研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌(一类具有准周期特征的带状结构)及其形成过程.实验发现:沉积结束后,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象,随后逐渐演变成由一系列畴块有序排列而成的准周期带状结构.带状结构中畴块(一般为长方形)的大小不均,其宽度分布的最可几值约在5 μm～20 μm之间;在一定区域内,同一条带状结构的畴块长度基本一致,且随时间Δt的增加而增加.分析表明:由于液体基底与薄膜之间的特征相互作用,使薄膜中的原子及其团簇可以较自由地自发凝聚和重组,释放薄膜中的内应力,从而引起此类具有准周期特征带状结构的形成.
研究瞭沉積在硅油錶麵Al薄膜的特徵錶麵形貌(一類具有準週期特徵的帶狀結構)及其形成過程.實驗髮現:沉積結束後,隨著Al薄膜樣品在真空室中放置時間Δt的增加,Al薄膜中首先齣現帶狀且不均勻的物質自髮凝聚現象,隨後逐漸縯變成由一繫列疇塊有序排列而成的準週期帶狀結構.帶狀結構中疇塊(一般為長方形)的大小不均,其寬度分佈的最可幾值約在5 μm～20 μm之間;在一定區域內,同一條帶狀結構的疇塊長度基本一緻,且隨時間Δt的增加而增加.分析錶明:由于液體基底與薄膜之間的特徵相互作用,使薄膜中的原子及其糰簇可以較自由地自髮凝聚和重組,釋放薄膜中的內應力,從而引起此類具有準週期特徵帶狀結構的形成.
연구료침적재규유표면Al박막적특정표면형모(일류구유준주기특정적대상결구)급기형성과정.실험발현:침적결속후,수착Al박막양품재진공실중방치시간Δt적증가,Al박막중수선출현대상차불균균적물질자발응취현상,수후축점연변성유일계렬주괴유서배렬이성적준주기대상결구.대상결구중주괴(일반위장방형)적대소불균,기관도분포적최가궤치약재5 μm～20 μm지간;재일정구역내,동일조대상결구적주괴장도기본일치,차수시간Δt적증가이증가.분석표명:유우액체기저여박막지간적특정상호작용,사박막중적원자급기단족가이교자유지자발응취화중조,석방박막중적내응력,종이인기차류구유준주기특정대상결구적형성.
