上海工程技术大学学报
上海工程技術大學學報
상해공정기술대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY OF ENGINEERING SCIENCE
2006年
4期
287-290
,共4页
精密定位%误差分析%激光干涉仪
精密定位%誤差分析%激光榦涉儀
정밀정위%오차분석%격광간섭의
高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准.根据测量原理,激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1/3～1/2,这样才能保证测量结果的可信性.为此,对影响激光干涉仪测量精度的诸多因素作了分析,并在分析的基础上进行误差计算.计算结果表明,激光干涉测量系统的综合误差为12.3 nm,满足定位平台的精度要求,二者在精度上能很好匹配.
高精度定位平檯通常以激光榦涉儀為測量基準.根據測量原理,激光榦涉儀的測量誤差應為定位平檯誤差的1/3～1/2,這樣纔能保證測量結果的可信性.為此,對影響激光榦涉儀測量精度的諸多因素作瞭分析,併在分析的基礎上進行誤差計算.計算結果錶明,激光榦涉測量繫統的綜閤誤差為12.3 nm,滿足定位平檯的精度要求,二者在精度上能很好匹配.
고정도정위평태통상이격광간섭의위측량기준.근거측량원리,격광간섭의적측량오차응위정위평태오차적1/3～1/2,저양재능보증측량결과적가신성.위차,대영향격광간섭의측량정도적제다인소작료분석,병재분석적기출상진행오차계산.계산결과표명,격광간섭측량계통적종합오차위12.3 nm,만족정위평태적정도요구,이자재정도상능흔호필배.
