传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
698-701
,共4页
周晓奇%郑阳明%金仲和%王跃林
週曉奇%鄭暘明%金仲和%王躍林
주효기%정양명%금중화%왕약림
电容式加速度计%电容检测%FPGA%直接频率合成
電容式加速度計%電容檢測%FPGA%直接頻率閤成
전용식가속도계%전용검측%FPGA%직접빈솔합성
基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小.近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的电路.采用基于FPGA实现的数字式电容检测系统,具有高精度和稳定度,对寄生电阻、电容不敏感,并直接采用数字接口输出.它检测电容变化范围为±2 pF,电容检测分辨率可达到0.115 fF.将系统连接到灵敏度为1.056 pF/g的加速度计后,可以测量的加速度分辨率为0.107 mg,对应的动态范围为4.0×104.
基于微機械工藝製作的加速度計,廣汎採用差動結構電容變化來反映被測量的方嚮和大小.近年來針對該需求研製瞭檢測微小電容變化的電路.採用基于FPGA實現的數字式電容檢測繫統,具有高精度和穩定度,對寄生電阻、電容不敏感,併直接採用數字接口輸齣.它檢測電容變化範圍為±2 pF,電容檢測分辨率可達到0.115 fF.將繫統連接到靈敏度為1.056 pF/g的加速度計後,可以測量的加速度分辨率為0.107 mg,對應的動態範圍為4.0×104.
기우미궤계공예제작적가속도계,엄범채용차동결구전용변화래반영피측량적방향화대소.근년래침대해수구연제료검측미소전용변화적전로.채용기우FPGA실현적수자식전용검측계통,구유고정도화은정도,대기생전조、전용불민감,병직접채용수자접구수출.타검측전용변화범위위±2 pF,전용검측분변솔가체도0.115 fF.장계통련접도령민도위1.056 pF/g적가속도계후,가이측량적가속도분변솔위0.107 mg,대응적동태범위위4.0×104.
