光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2006年
z1期
648-650
,共3页
李刚%公发全%刘万发%孙龙%孙连春
李剛%公髮全%劉萬髮%孫龍%孫連春
리강%공발전%류만발%손룡%손련춘
薄膜光学%电子束蒸发%离子束溅射%角立方反射器
薄膜光學%電子束蒸髮%離子束濺射%角立方反射器
박막광학%전자속증발%리자속천사%각립방반사기
分别利用电子束蒸发和离子束溅射手段在单晶硅基底上制备了54.7°入射1315nm和632.8nm双波长高反射薄膜,并对两种手段所镀制薄膜地性能进行了比较;然后对离子束溅射所镀制的反射镜进行了胶合,得到了高精度的角立方反射器.最后,将所制备的角立方反射器实际用于化学氧碘激光谐振腔后,获得了近衍射极限的激光输出.
分彆利用電子束蒸髮和離子束濺射手段在單晶硅基底上製備瞭54.7°入射1315nm和632.8nm雙波長高反射薄膜,併對兩種手段所鍍製薄膜地性能進行瞭比較;然後對離子束濺射所鍍製的反射鏡進行瞭膠閤,得到瞭高精度的角立方反射器.最後,將所製備的角立方反射器實際用于化學氧碘激光諧振腔後,穫得瞭近衍射極限的激光輸齣.
분별이용전자속증발화리자속천사수단재단정규기저상제비료54.7°입사1315nm화632.8nm쌍파장고반사박막,병대량충수단소도제박막지성능진행료비교;연후대리자속천사소도제적반사경진행료효합,득도료고정도적각립방반사기.최후,장소제비적각립방반사기실제용우화학양전격광해진강후,획득료근연사겁한적격광수출.
