仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
1期
138-143
,共6页
郭辉辉%陈向东%杜广涛%姚尧%李辉
郭輝輝%陳嚮東%杜廣濤%姚堯%李輝
곽휘휘%진향동%두엄도%요요%리휘
溶胀效应%甲醛气体传感器%硅桥%MEMS%改性丙烯酸酯
溶脹效應%甲醛氣體傳感器%硅橋%MEMS%改性丙烯痠酯
용창효응%갑철기체전감기%규교%MEMS%개성병희산지
提出了一种基于高分子薄膜溶胀效应的新型MEMS压阻式甲醛气体传感器,其结构由嵌入惠斯通电桥的硅桥和一层改性丙烯酸酯气敏薄膜构成,敏感薄膜因吸收甲醛气体发生溶胀使硅桥上的惠斯通电桥产生输出电压,从而实现对甲醛气体的检测.基于弹性力学薄板原理构建了该气体传感器中硅桥与改性丙烯酸酯薄膜相互作用的模型,并推导出传感器的输出公式.实验结果验证了理论分析模型,实验结果表明该传感器有很好的线性,选择性.实验测得该传感器灵敏度为0.975×106ecr,分辨率为10×10-6,响应时间和恢复时间分别为50s和65s.该传感器结构简单、无须加热,工艺成熟、成本低,应用MEMS 工艺技术可实现与信号处理电路的集成.
提齣瞭一種基于高分子薄膜溶脹效應的新型MEMS壓阻式甲醛氣體傳感器,其結構由嵌入惠斯通電橋的硅橋和一層改性丙烯痠酯氣敏薄膜構成,敏感薄膜因吸收甲醛氣體髮生溶脹使硅橋上的惠斯通電橋產生輸齣電壓,從而實現對甲醛氣體的檢測.基于彈性力學薄闆原理構建瞭該氣體傳感器中硅橋與改性丙烯痠酯薄膜相互作用的模型,併推導齣傳感器的輸齣公式.實驗結果驗證瞭理論分析模型,實驗結果錶明該傳感器有很好的線性,選擇性.實驗測得該傳感器靈敏度為0.975×106ecr,分辨率為10×10-6,響應時間和恢複時間分彆為50s和65s.該傳感器結構簡單、無鬚加熱,工藝成熟、成本低,應用MEMS 工藝技術可實現與信號處理電路的集成.
제출료일충기우고분자박막용창효응적신형MEMS압조식갑철기체전감기,기결구유감입혜사통전교적규교화일층개성병희산지기민박막구성,민감박막인흡수갑철기체발생용창사규교상적혜사통전교산생수출전압,종이실현대갑철기체적검측.기우탄성역학박판원리구건료해기체전감기중규교여개성병희산지박막상호작용적모형,병추도출전감기적수출공식.실험결과험증료이론분석모형,실험결과표명해전감기유흔호적선성,선택성.실험측득해전감기령민도위0.975×106ecr,분변솔위10×10-6,향응시간화회복시간분별위50s화65s.해전감기결구간단、무수가열,공예성숙、성본저,응용MEMS 공예기술가실현여신호처리전로적집성.
