真空
真空
진공
VACUUM
2011年
1期
18-20
,共3页
何庆%刘景全%杨春生%李以贵%芮岳峰
何慶%劉景全%楊春生%李以貴%芮嶽峰
하경%류경전%양춘생%리이귀%예악봉
Parylene%真空沉积%干法掺杂%纳米粉体
Parylene%真空沉積%榦法摻雜%納米粉體
Parylene%진공침적%간법참잡%납미분체
本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足.提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案.最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素.
本文介紹瞭高分子材料PARYLENE的真空沉積機理及其優越性和不足.提齣瞭一種在PARYLENE真空沉積過程中引入機械摻雜製備具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法併給齣瞭摻雜試驗設備設計方案.最後提齣瞭影響機械粉體摻雜效果的幾箇因素.
본문개소료고분자재료PARYLENE적진공침적궤리급기우월성화불족.제출료일충재PARYLENE진공침적과정중인입궤계참잡제비구유특정공능적PARYLENE고분자박막적방법병급출료참잡시험설비설계방안.최후제출료영향궤계분체참잡효과적궤개인소.
