化学通报
化學通報
화학통보
CHINESE CHEMICAL SOCIETY
2002年
9期
606-613
,共8页
王喆%邢汝博%韩艳春%李滨耀
王喆%邢汝博%韓豔春%李濱耀
왕철%형여박%한염춘%리빈요
软刻蚀%微米加工%纳米加工%图案化%弹性模板
軟刻蝕%微米加工%納米加工%圖案化%彈性模闆
연각식%미미가공%납미가공%도안화%탄성모판
软刻蚀是一类基于自组装和复制模塑等原理的非光刻微米和纳米加工方法.它为形成和制作微米、纳米图案提供了简便、有效、价廉的途径.在软刻蚀中,用一个表面带图案的弹性模板来实现图案的转移,其加工的分辨率可达30nm～100μm.软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称.本文将简介软刻蚀的原理、方法以及它们在微米和纳米加工、微电子学、材料科学、光学、微电子机械系统、表面化学等方面的应用.
軟刻蝕是一類基于自組裝和複製模塑等原理的非光刻微米和納米加工方法.它為形成和製作微米、納米圖案提供瞭簡便、有效、價廉的途徑.在軟刻蝕中,用一箇錶麵帶圖案的彈性模闆來實現圖案的轉移,其加工的分辨率可達30nm～100μm.軟刻蝕是微接觸印刷、複製模塑、轉移微模塑、毛細微模塑、溶劑輔助微模塑等的總稱.本文將簡介軟刻蝕的原理、方法以及它們在微米和納米加工、微電子學、材料科學、光學、微電子機械繫統、錶麵化學等方麵的應用.
연각식시일류기우자조장화복제모소등원리적비광각미미화납미가공방법.타위형성화제작미미、납미도안제공료간편、유효、개렴적도경.재연각식중,용일개표면대도안적탄성모판래실현도안적전이,기가공적분변솔가체30nm～100μm.연각식시미접촉인쇄、복제모소、전이미모소、모세미모소、용제보조미모소등적총칭.본문장간개연각식적원리、방법이급타문재미미화납미가공、미전자학、재료과학、광학、미전자궤계계통、표면화학등방면적응용.
