真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
210-213
,共4页
郑小兰%顾有松%张跃%展晓元%李建民
鄭小蘭%顧有鬆%張躍%展曉元%李建民
정소란%고유송%장약%전효원%리건민
交换偏置场%热处理工艺%相转变%磁性能
交換偏置場%熱處理工藝%相轉變%磁性能
교환편치장%열처리공예%상전변%자성능
采用磁控溅射法在Si(100)基片上沉积了PtMn/Co双层膜,研究退火温度与样品微结构以及磁性的关系,发现退火温度越高,反铁磁性PtMn层由fcc非磁性相向fct反铁磁性相转变越充分,交换偏置场值Hex越高.同时,随着退火温度的升高,反铁磁层的晶粒尺寸逐渐增大,交换偏置场Hex值随着反铁磁层晶粒尺寸的增大几乎呈线性增加.研究了交换偏置场与铁磁层、反铁磁层厚度的关系,结果表明,在250℃退火时Hex与PtMn厚度关系为有峰值的曲线,此退火温度下反铁磁层临界厚度为20 nm,最佳反铁磁层厚度为60 nm.还发现了交换偏置场Hex随着铁磁性Co层厚度的增大几乎呈线性降低,充分说明铁磁、反铁磁交换耦合作用是一种界面耦合效应.
採用磁控濺射法在Si(100)基片上沉積瞭PtMn/Co雙層膜,研究退火溫度與樣品微結構以及磁性的關繫,髮現退火溫度越高,反鐵磁性PtMn層由fcc非磁性相嚮fct反鐵磁性相轉變越充分,交換偏置場值Hex越高.同時,隨著退火溫度的升高,反鐵磁層的晶粒呎吋逐漸增大,交換偏置場Hex值隨著反鐵磁層晶粒呎吋的增大幾乎呈線性增加.研究瞭交換偏置場與鐵磁層、反鐵磁層厚度的關繫,結果錶明,在250℃退火時Hex與PtMn厚度關繫為有峰值的麯線,此退火溫度下反鐵磁層臨界厚度為20 nm,最佳反鐵磁層厚度為60 nm.還髮現瞭交換偏置場Hex隨著鐵磁性Co層厚度的增大幾乎呈線性降低,充分說明鐵磁、反鐵磁交換耦閤作用是一種界麵耦閤效應.
채용자공천사법재Si(100)기편상침적료PtMn/Co쌍층막,연구퇴화온도여양품미결구이급자성적관계,발현퇴화온도월고,반철자성PtMn층유fcc비자성상향fct반철자성상전변월충분,교환편치장치Hex월고.동시,수착퇴화온도적승고,반철자층적정립척촌축점증대,교환편치장Hex치수착반철자층정립척촌적증대궤호정선성증가.연구료교환편치장여철자층、반철자층후도적관계,결과표명,재250℃퇴화시Hex여PtMn후도관계위유봉치적곡선,차퇴화온도하반철자층림계후도위20 nm,최가반철자층후도위60 nm.환발현료교환편치장Hex수착철자성Co층후도적증대궤호정선성강저,충분설명철자、반철자교환우합작용시일충계면우합효응.