清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
2期
181-185
,共5页
导航设备%微机械%静电悬浮%加速度计%量程
導航設備%微機械%靜電懸浮%加速度計%量程
도항설비%미궤계%정전현부%가속도계%량정
设计了一种基于静电悬浮原理的微机械加速度计.它采用三明治结构的微敏感元件,电容式位移检测方案及静电力悬浮控制方案.着重对敏感元件的主要结构设计、参数的选取、支承静电力的计算以及量程极限、精度极限等问题进行了分析,表明在目前技术条件下,可以实现量程约5 g,精度为10-5 g的悬浮微加速度计.设计并加工出一种圆环形结构的敏感元件,已实现了Z轴方向的静电悬浮及加速度测量,证明设计方案是可行的,进一步研究可实现三轴悬浮加速度计.
設計瞭一種基于靜電懸浮原理的微機械加速度計.它採用三明治結構的微敏感元件,電容式位移檢測方案及靜電力懸浮控製方案.著重對敏感元件的主要結構設計、參數的選取、支承靜電力的計算以及量程極限、精度極限等問題進行瞭分析,錶明在目前技術條件下,可以實現量程約5 g,精度為10-5 g的懸浮微加速度計.設計併加工齣一種圓環形結構的敏感元件,已實現瞭Z軸方嚮的靜電懸浮及加速度測量,證明設計方案是可行的,進一步研究可實現三軸懸浮加速度計.
설계료일충기우정전현부원리적미궤계가속도계.타채용삼명치결구적미민감원건,전용식위이검측방안급정전력현부공제방안.착중대민감원건적주요결구설계、삼수적선취、지승정전력적계산이급량정겁한、정도겁한등문제진행료분석,표명재목전기술조건하,가이실현량정약5 g,정도위10-5 g적현부미가속도계.설계병가공출일충원배형결구적민감원건,이실현료Z축방향적정전현부급가속도측량,증명설계방안시가행적,진일보연구가실현삼축현부가속도계.
