真空
真空
진공
VACUUM
2007年
4期
36-39
,共4页
牛孝昊%罗庆洪%杨会生%陆永浩%熊小涛%王燕斌
牛孝昊%囉慶洪%楊會生%陸永浩%熊小濤%王燕斌
우효호%라경홍%양회생%륙영호%웅소도%왕연빈
掺钨类金刚石薄膜%硬度%摩擦系数%等离子增强化学气相沉积
摻鎢類金剛石薄膜%硬度%摩抆繫數%等離子增彊化學氣相沉積
참오류금강석박막%경도%마찰계수%등리자증강화학기상침적
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究.研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5 μm的薄膜而不发生剥落.适当控制工艺条件和膜中钨的含量可以提高薄膜的硬度,降低磨损率,且保持低的摩擦系数和较高的沉积速率.
為瞭滿足製備較厚低摩抆繫數類金剛石薄膜(DLC)耐磨鍍層的實際需求,對在等離子增彊化學氣相沉積的類金剛石薄膜(W-DLC)中摻鎢進行瞭繫統研究.研究結果錶明,類金剛石薄膜摻入鎢,在較寬的工藝條件範圍內,都可以沉積厚度超過5 μm的薄膜而不髮生剝落.適噹控製工藝條件和膜中鎢的含量可以提高薄膜的硬度,降低磨損率,且保持低的摩抆繫數和較高的沉積速率.
위료만족제비교후저마찰계수류금강석박막(DLC)내마도층적실제수구,대재등리자증강화학기상침적적류금강석박막(W-DLC)중참오진행료계통연구.연구결과표명,류금강석박막참입오,재교관적공예조건범위내,도가이침적후도초과5 μm적박막이불발생박락.괄당공제공예조건화막중오적함량가이제고박막적경도,강저마손솔,차보지저적마찰계수화교고적침적속솔.
