微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
5期
56-60
,共5页
张永华%欧阳炜霞%汪红%丁桂甫%蔡炳初%赖宗声
張永華%歐暘煒霞%汪紅%丁桂甫%蔡炳初%賴宗聲
장영화%구양위하%왕홍%정계보%채병초%뢰종성
微机电系统%射频开关%双稳态%电磁驱动%集成加工
微機電繫統%射頻開關%雙穩態%電磁驅動%集成加工
미궤전계통%사빈개관%쌍은태%전자구동%집성가공
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究.经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材料和多元结构形式的一体化集成加工.
電磁型MEMS開關比靜電式的結構複雜,一體化集成加工睏難.對于新型電磁驅動雙穩態RF MEMS開關進行瞭材料的選擇,併對一些主要材料的電鍍和懸空結構的製備與釋放進行瞭工藝優化研究.經過工藝整閤,實現瞭電磁型RF MEMS開關的多種非硅材料和多元結構形式的一體化集成加工.
전자형MEMS개관비정전식적결구복잡,일체화집성가공곤난.대우신형전자구동쌍은태RF MEMS개관진행료재료적선택,병대일사주요재료적전도화현공결구적제비여석방진행료공예우화연구.경과공예정합,실현료전자형RF MEMS개관적다충비규재료화다원결구형식적일체화집성가공.
