南京大学学报（自然科学版）
南京大學學報（自然科學版）
남경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2000年
1期
80-86
,共7页
高频器件%瑞利波%漏剪切波%准纵波模式%石英
高頻器件%瑞利波%漏剪切波%準縱波模式%石英
고빈기건%서리파%루전절파%준종파모식%석영
对石英基片欧拉角为(o°,124°γ)系列传播方向上传播的表面声波波动模式进行了理论分析与实验研究.发现在欧拉角为(0°,124°,50°)传播方向上存在着传播性能较好的表面准纵波模式,它的相速度为7013.8m/s、传播衰减为9.36×10-5dB/λ、机电耦合系数为0.005%.基于此传播方向的表面声波波动模式的另一个特点是漏剪切声波模式几乎不激发,这一点对于制作高频器件有一定的应用价值.并指出当传播方向偏离常用的传播方向γ=90°时.表面漏剪切声波存在着严重的束偏向问题.同时在文章中给出了(0°,124°γ)系列传播方向上瑞利波相速度、机电耦合系数等传播特性.
對石英基片歐拉角為(o°,124°γ)繫列傳播方嚮上傳播的錶麵聲波波動模式進行瞭理論分析與實驗研究.髮現在歐拉角為(0°,124°,50°)傳播方嚮上存在著傳播性能較好的錶麵準縱波模式,它的相速度為7013.8m/s、傳播衰減為9.36×10-5dB/λ、機電耦閤繫數為0.005%.基于此傳播方嚮的錶麵聲波波動模式的另一箇特點是漏剪切聲波模式幾乎不激髮,這一點對于製作高頻器件有一定的應用價值.併指齣噹傳播方嚮偏離常用的傳播方嚮γ=90°時.錶麵漏剪切聲波存在著嚴重的束偏嚮問題.同時在文章中給齣瞭(0°,124°γ)繫列傳播方嚮上瑞利波相速度、機電耦閤繫數等傳播特性.
대석영기편구랍각위(o°,124°γ)계열전파방향상전파적표면성파파동모식진행료이론분석여실험연구.발현재구랍각위(0°,124°,50°)전파방향상존재착전파성능교호적표면준종파모식,타적상속도위7013.8m/s、전파쇠감위9.36×10-5dB/λ、궤전우합계수위0.005%.기우차전파방향적표면성파파동모식적령일개특점시루전절성파모식궤호불격발,저일점대우제작고빈기건유일정적응용개치.병지출당전파방향편리상용적전파방향γ=90°시.표면루전절성파존재착엄중적속편향문제.동시재문장중급출료(0°,124°γ)계열전파방향상서리파상속도、궤전우합계수등전파특성.
