安徽工程科技学院学报
安徽工程科技學院學報
안휘공정과기학원학보
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE
2010年
4期
54-57
,共4页
薄膜材料%残余应力%检测方法
薄膜材料%殘餘應力%檢測方法
박막재료%잔여응력%검측방법
薄膜材料在制备中都会产生一定的残余应力,而薄膜中残余应力的大小对整个微机电系统的性能和可靠性具有很大的影响.讨论了几种典型的残余应力检测方法,并分析了各自的特点.在此基础上,提出了一种整合微指针结构驱动器和测量探针的新型残余应力测试方法.其核心是设计出一种基于扫描探针的薄膜残余应力在线检测系统.
薄膜材料在製備中都會產生一定的殘餘應力,而薄膜中殘餘應力的大小對整箇微機電繫統的性能和可靠性具有很大的影響.討論瞭幾種典型的殘餘應力檢測方法,併分析瞭各自的特點.在此基礎上,提齣瞭一種整閤微指針結構驅動器和測量探針的新型殘餘應力測試方法.其覈心是設計齣一種基于掃描探針的薄膜殘餘應力在線檢測繫統.
박막재료재제비중도회산생일정적잔여응력,이박막중잔여응력적대소대정개미궤전계통적성능화가고성구유흔대적영향.토론료궤충전형적잔여응력검측방법,병분석료각자적특점.재차기출상,제출료일충정합미지침결구구동기화측량탐침적신형잔여응력측시방법.기핵심시설계출일충기우소묘탐침적박막잔여응력재선검측계통.
