CAJ | 학술논문

在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率.针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法.并以一种"三明治"式微加速度计的ANSYS模态分析为具体算例,提出了用多重网格思想对网点分布进行插值以求在不太提高条件数的情况下提高对这类低频非局部振型的模态分析问题的求解精度的二维预处理算法.所提出的多重网络的网络划分预处理算法将预处理前后的同精度分析计算时间由206 min减少到38 min,但相对精度从0.018%降-到了0.038%.这种算法可用于二维成形结构的静力分析和模态分析并提高设计效率.
재미궤계결구설계중상용유한원방법진행방진,연이,통용적삼유유한원방진산법재진행유한원분석시모시교장,영향료방진효솔.침대상규MEMS공예부유이유성형능력적특정,제출료장이유다중망격방법융입조건공액제도법적예처리적방법.병이일충"삼명치"식미가속도계적ANSYS모태분석위구체산례,제출료용다중망격사상대망점분포진행삽치이구재불태제고조건수적정황하제고대저류저빈비국부진형적모태분석문제적구해정도적이유예처리산법.소제출적다중망락적망락화분예처리산법장예처리전후적동정도분석계산시간유206 min감소도38 min,단상대정도종0.018%강-도료0.038%.저충산법가용우이유성형결구적정력분석화모태분석병제고설계효솔.