电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2011年
4期
21-24
,共4页
微波介质薄膜%钛酸锶钡%铋锌铌%溶胶-凝胶法
微波介質薄膜%鈦痠鍶鋇%鉍鋅鈮%溶膠-凝膠法
미파개질박막%태산송패%필자니%용효-응효법
采用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡/铋锌铌多层复合薄膜样品.研究了不同退火温度下多层复合薄膜的结构、微观形貌及介电性能.结果表明:在退火温度高于700℃时,所得复合薄膜中会出现立方焦绿石结构的铋锌铌和钙钛矿结构的钛酸锶钡.750℃退火处理得到的多层复合薄膜,表面致密,无裂纹,其相对介电常数为146,介电损耗为0.004;在频率为10 kHz,电场强度为6×105V/cm时,其介电可调率达到13%,品质因子(FOM)达到32.5.
採用溶膠一凝膠法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭鈦痠鍶鋇/鉍鋅鈮多層複閤薄膜樣品.研究瞭不同退火溫度下多層複閤薄膜的結構、微觀形貌及介電性能.結果錶明:在退火溫度高于700℃時,所得複閤薄膜中會齣現立方焦綠石結構的鉍鋅鈮和鈣鈦礦結構的鈦痠鍶鋇.750℃退火處理得到的多層複閤薄膜,錶麵緻密,無裂紋,其相對介電常數為146,介電損耗為0.004;在頻率為10 kHz,電場彊度為6×105V/cm時,其介電可調率達到13%,品質因子(FOM)達到32.5.
채용용효일응효법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료태산송패/필자니다층복합박막양품.연구료불동퇴화온도하다층복합박막적결구、미관형모급개전성능.결과표명:재퇴화온도고우700℃시,소득복합박막중회출현립방초록석결구적필자니화개태광결구적태산송패.750℃퇴화처리득도적다층복합박막,표면치밀,무렬문,기상대개전상수위146,개전손모위0.004;재빈솔위10 kHz,전장강도위6×105V/cm시,기개전가조솔체도13%,품질인자(FOM)체도32.5.
