光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
2期
287-295
,共9页
张雷%邬义杰%刘孝亮%王彬
張雷%鄔義傑%劉孝亮%王彬
장뢰%오의걸%류효량%왕빈
超磁致伸缩构件%异形孔精密加工%线性化迟滞模型%参数辨识%相关分析
超磁緻伸縮構件%異形孔精密加工%線性化遲滯模型%參數辨識%相關分析
초자치신축구건%이형공정밀가공%선성화지체모형%삼수변식%상관분석
根据超磁致伸缩构件精密加工异形孔刀具轨迹的特点,采用纯延时环节串联线性化模型,建立其在高频驱动下驱动电流与输出微位移的迟滞非线性动态模型.通过一定频率下驱动电流与输出位移的相关辨识,获得系统纯延时环节的补偿参数,并建立了驱动电流与无相位差输出位移的线性化模型.当实时控制时,通过迟滞非线性模型的直接逆模型补偿,使位移输出与异形孔的理想刀具轨迹一致.实验验证表明,直接逆模型的最大开环控制误差为2.7 μm,最大相对误差为10％.进一步对构件进行微位移反馈闭环控制,实验误差最大值为1.2 μm,最大相对误差为7％,提高了系统的控制精度.
根據超磁緻伸縮構件精密加工異形孔刀具軌跡的特點,採用純延時環節串聯線性化模型,建立其在高頻驅動下驅動電流與輸齣微位移的遲滯非線性動態模型.通過一定頻率下驅動電流與輸齣位移的相關辨識,穫得繫統純延時環節的補償參數,併建立瞭驅動電流與無相位差輸齣位移的線性化模型.噹實時控製時,通過遲滯非線性模型的直接逆模型補償,使位移輸齣與異形孔的理想刀具軌跡一緻.實驗驗證錶明,直接逆模型的最大開環控製誤差為2.7 μm,最大相對誤差為10％.進一步對構件進行微位移反饋閉環控製,實驗誤差最大值為1.2 μm,最大相對誤差為7％,提高瞭繫統的控製精度.
근거초자치신축구건정밀가공이형공도구궤적적특점,채용순연시배절천련선성화모형,건립기재고빈구동하구동전류여수출미위이적지체비선성동태모형.통과일정빈솔하구동전류여수출위이적상관변식,획득계통순연시배절적보상삼수,병건립료구동전류여무상위차수출위이적선성화모형.당실시공제시,통과지체비선성모형적직접역모형보상,사위이수출여이형공적이상도구궤적일치.실험험증표명,직접역모형적최대개배공제오차위2.7 μm,최대상대오차위10％.진일보대구건진행미위이반궤폐배공제,실험오차최대치위1.2 μm,최대상대오차위7％,제고료계통적공제정도.
