金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2004年
2期
220-224
,共5页
李刘合%武咏琴%崔旭明%张海泉%张彦华%夏立芳%朱剑豪
李劉閤%武詠琴%崔旭明%張海泉%張彥華%夏立芳%硃劍豪
리류합%무영금%최욱명%장해천%장언화%하립방%주검호
Raman光谱%类金刚石碳膜%弯曲弧磁过滤器%偏流
Raman光譜%類金剛石碳膜%彎麯弧磁過濾器%偏流
Raman광보%류금강석탄막%만곡호자과려기%편류
分别采刚带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金痧刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光潜特点.对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp3杂化碳键的形成.
分彆採剛帶有和不帶有彎麯弧磁過濾器的真空陰極弧離子鍍方法,在不同鍍膜電流以及不同基片偏流下分彆製備瞭類金痧剛石碳膜,對比瞭不同結構下類金剛石碳膜的Raman光潛特點.對其Raman光譜的D峰和G峰採用Gaussian-Lorentzion的幾率分佈進行瞭分峰,併著重討論瞭基片偏流、彎麯磁場等沉積參數對膜結構的影響結果錶明,氬分壓對膜結構影響不大,較大的偏流以及彎麯磁場的加入均有利于sp3雜化碳鍵的形成.
분별채강대유화불대유만곡호자과려기적진공음겁호리자도방법,재불동도막전류이급불동기편편류하분별제비료류금사강석탄막,대비료불동결구하류금강석탄막적Raman광잠특점.대기Raman광보적D봉화G봉채용Gaussian-Lorentzion적궤솔분포진행료분봉,병착중토론료기편편류、만곡자장등침적삼수대막결구적영향결과표명,아분압대막결구영향불대,교대적편류이급만곡자장적가입균유리우sp3잡화탄건적형성.
